Boron11 Trichloride Semiconductor Dopant Semiconductor сухое тручэнне
Уводзіны прадукт Уводзіны
Пры нармальнай тэмпературы і ціску трыхларыд бору (Bcl 3 ) - гэта бясколерны дым -газ, які гаручы, рэзкі, кіслы пах. Трыхларыд бору раскладаецца на саляную кіслату і борную кіслату і вылучае шмат цяпла, які сустракаецца з вадой, стварае дым у вільготным паветры з -за гідролізу, а Bcl 3 раскладаецца ў саляную кіслату і эфір борнай кіслаты пры спірце. Трыхларыд бору мае моцную здольнасць да рэакцыі і можа ўтвараць розныя каардынацыйныя злучэнні. Трыхларыд бору можа ўступаць у рэакцыю са шкла і керамікі пры награванні, а таксама ўступае ў рэакцыю са шматлікімі арганічнымі злучэннямі, утвараючы розныя злучэнні органаборона. Трыхларыд з высокай чысцінёй Boron11 у асноўным выкарыстоўваецца для допінгу дыфузіі ў працэсе вытворчасці (крэмній) паўправадніковых прыбораў. Прымешкі бору генеруюцца праз раскладанне Bcl 3 і дыфузуюць да крэмнію, утвараючы паўправаднік P-тыпу пры высокай тэмпературы. Bcl 3 таксама можа быць выкарыстаны для сухога тручэння Al, Mosi 2 , Tasi 2 , Tisi 2 , WSI і іншых матэрыялаў.
Спецыфікацыя якасці
|
items
|
Units
|
Index
|
|
Boron11 Trichloride≥
|
Vol.%
|
99.9995
|
|
Oxygen+Argon<
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Nitrogen<
|
Vol.ppm
|
4
|
|
Ca
rbon monoxide<
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Carbon dioxide<
|
Vol.ppm
|
0.2
|
|
Methane <
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Total impurity content≤
|
Vol.ppm
|
5
|
|
Metal ion
|
Vol.ppm
|
Supply and demand agreement
|
Прымяненне
Трыхларыд Boron можа быць выкарыстаны для вырабу высокага чыстага бору, каталізатара арганічнага сінтэзу, флюсуючых сродкаў для раскладання сілікату, а таксама ён таксама выкарыстоўваецца ў якасці дабаўкі дэзаксідызатара, нітрыдаў і карбідаў пры перапрацоўцы сплаву. Трыхларыд з высокім чыстым борам11 у асноўным выкарыстоўваецца ў дыфузійным допінгу, імплантацыі іёнаў, сухога тручэння і іншых працэсах у паўправадніковых прыладах і ўбудаванай схеме.
Упакоўка і захоўванне
Трыхларыд Boron11 запаўняецца ў цыліндры. Цыліндр, запоўнены трыхларыдам Boron11, адпавядае адпаведным палажэнням GB14193. Спецыфікацыі ўпакоўкі ўключаюць 10 л і 47L. Прадукт захоўваецца ў цяністым, сухім і вентыляваным сховішчам ніжэй за 60 ℃ . Забараняецца падвяргацца сонца і трымаецца далей ад крыніц цяпла. Пакет павінен быць запячатаны, і яго трэба асобна захоўваць з шчолачымі і іншымі небяспечнымі вырабамі.
Contact Now
